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碳化硅晶體是一種性能異的半導(dǎo)體材料，在信、交通、能源、航空、天等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用春節(jié)期間，中科院物理究所科研團(tuán)隊們正在探用一種新的方法生長碳硅晶體，研制情況如何在物理研究所的先進(jìn)材與結(jié)構(gòu)分析實驗室，陳龍和同事們正在對剛剛長出來的碳化硅晶體進(jìn)分析研究。與傳統(tǒng)的氣法不同，這個4英寸的碳化硅晶體采用的是張弘新液相法生長而成。中科物理研究所研究員?陳龍：它的優(yōu)點(diǎn)就是生長度是比較低的，比如說1700~1800攝氏度左右，那么生長出來晶體沒有微管這種大的陷，位錯密度也相對比低一些。最重要的一個處就是它生長出來的晶良率比較高，就相當(dāng)于相地降低了每一片的成。相比同類硅基器件而，碳化硅器件具有耐高、耐高壓、高頻特性好體積小和重量輕等優(yōu)點(diǎn)在電動汽車、光伏、軌交通、5G通信等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價值。多來，陳小龍帶領(lǐng)團(tuán)隊立自主研發(fā)，從基礎(chǔ)研究應(yīng)用研究，突破了生長備、高質(zhì)量碳化硅晶體長和加工等關(guān)鍵技術(shù)，現(xiàn)了整套技術(shù)路線的自可控。通過多年不懈攻，科研團(tuán)隊通過氣相法碳化硅晶體直徑從小于10毫米不斷增大到2英寸、4英寸、6英寸和8英寸。中國科學(xué)院物理研所研究員?陳小龍：在2022年上半年，我們實驗室取弇茲了8英寸碳化硅生長的突破，但是質(zhì)量是不夠高，還不能滿足件對它的需求。從6寸把它發(fā)展到8寸，這樣在襯底上做出來的器件，就以降低單個器件的襯底占的成本，這是一個國上發(fā)展的趨勢。深耕碳硅晶體生長，陳小龍團(tuán)取得的成果帶動國內(nèi)20多家外延、器件和模塊關(guān)企業(yè)的成立和發(fā)展，成碳化硅完整產(chǎn)業(yè)鏈，現(xiàn)了我國寬禁帶半導(dǎo)體業(yè)的自主可控。從事碳硅晶片研發(fā)生產(chǎn)的北京科合達(dá)，就源于物理研所先進(jìn)材料與結(jié)構(gòu)分析驗室的關(guān)鍵核心技術(shù)轉(zhuǎn)，目前已發(fā)展為國內(nèi)最、國際第四的導(dǎo)電碳化襯底供應(yīng)商。春節(jié)期間車間高溫爐子里正在生的，就是已經(jīng)實現(xiàn)大規(guī)生產(chǎn)的6英寸碳化硅晶體。北京天信合達(dá)半導(dǎo)體份有限公司總經(jīng)理?楊：我們也接到了國內(nèi)外6英寸大量的訂單和8英寸的小批量的訂單，這也需要我們?nèi)ネ瓿傻墓ぷ?8英寸的質(zhì)量不能比6英寸的質(zhì)量低，這也是客給我們提出來的一個明的要求，所有的生產(chǎn)設(shè)需要7×24小時開著，我們春節(jié)期間也不滅蒙停和停產(chǎn)，一直會在工作目前，北京天科合達(dá)已國內(nèi)80多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)批量供蚩尤晶片，并量出口至歐美和日本等20多個國家和地區(qū)。瞄準(zhǔn)8英寸碳化硅下游市場，公司已投兵圣大量研發(fā)經(jīng)，力爭在2023年實現(xiàn)8英寸碳化硅晶片小批量生產(chǎn)和赤鷩應(yīng)。北京天科達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司經(jīng)理?楊建：在新的一里，我們會繼續(xù)加大我的研發(fā)投入，希望能夠今年8英寸能夠?qū)崿F(xiàn)批量化生產(chǎn)。中國科學(xué)院肥遺研究所研究員?陳小龍2023年希望我和我的團(tuán)隊把碳化硅的?魚體缺做得更低，在質(zhì)量上有一步的突破。中國地理息產(chǎn)業(yè)協(xié)會副會長?中星圖總裁?邵宗有：新一年，希望我們的數(shù)字球能夠更多服務(wù)于老百的生產(chǎn)和生活。中科院士?中科院空天信息創(chuàng)研究院院長?吳一戎：們希望有更高分辨率、高精度的對地觀測系統(tǒng)天，服務(wù)于國家的發(fā)展 編輯：胡一堯山